溅射靶材作为一种零件，在微电子领域、显示器等领域中都有着广泛的应用，在溅射靶材的使用过程中，溅射靶材的保养也是不可忽视的方面，经常保养溅射靶材能够减少溅射靶材表面的残留物，提高靶材的利用效率，那么溅射靶材的保养方法有哪些呢？下面丰联科小编带大家来了解一下

　　溅射靶材保养方法

　　1、溅射靶材维护

　　靶材维护能够避免在靶材的溅射过程中，因为溅射靶材不干净的腔体而导致出现短路或起弧现象，因此需要阶段性地去除靶材溅射轨道中间和两侧的堆积物，有助于使用者能连续地以大功率密度进行溅射。

　　2、溅射靶材储存

　　对于溅射靶材的储存，尽量将其储存在真空包装中，特别是贴合溅射靶材，须在真空条件下储存，避免出现贴合层氧化导致影响溅射靶材贴合质量。储存金属溅射靶材时，可以将其储存在洁净的塑料袋中，不过能真空包装就尽量将其真空包装储存。

　　3、溅射靶材清洁

　　首先使用在丙酮中浸泡过的无绒软布进行清洁，之后再使用酒精进行清洁，清洁完后使用去离子水对溅射靶材进行清洗，清洗完成后将溅射靶材放在烘箱中以100度的温度烘干30分钟，如果是陶瓷溅射靶材的话建议使用无绒布进行清洗。上述全部完成后，再用高压低湿气的氩气对溅射靶材进行冲洗，清洗掉会在溅射系统中引起电弧的不纯颗粒。

　　4、溅射靶材的短路和密封性查看

　　溅射靶材在安装完成后要对整个阴极进行短路检查和密封性检查，一般是使用电阻仪摇表的形式对阴极进行检查，判断它是否存在短路现象，在确保阴极不存在短路现象后，再对它进行密封性检查，将水通入阴极中来判断是否存在漏水的现象。

　　5、溅射靶材的包装和运输

　　在溅射靶材的运输过程中，尽量将靶材包装在带有防潮剂的真空密封袋中，之后使用木箱做为外包装，并在其四周安装防撞层，保护靶材和背板，防止靶材和背板在运输储存过程中损坏。

　　以上就是丰联科对溅射靶材保养方法的全部介绍，溅射靶材按时的维修保养能够提高靶材的利用效率，减少使用时发生故障的概率。99905.com银河股份有限公司钼及钼合金靶材、钨及钨合金靶材等产品，如果您想了解更多相关资讯，欢迎向99905.com银河致电咨询。